Šta je zarez za wafer?
Zarez je mali utor izrezan direktno ispod silikonske pločice, obično u obliku slova V ili U. Notch ima dvije funkcije. Jedan je da se označi kristalna orijentacija silikonske pločice, kao npr<100>, <110>, <111>, itd. Druga funkcija je da omogući da silikonska pločica bude pravilno postavljena i poravnata u opremi za proizvodnju poluprovodnika. Općenito, zarezi se nalaze u pločicama od 8- inča i 12- inča.
Kako izgleda Notch?
Veličina zareza mora biti u skladu sa SEMI standardima, kao što je prikazano na gornjoj slici:
1. Vw predstavlja ukupnu širinu zareza, a njegova veličina je povezana sa prečnikom i debljinom silikonske pločice.
2. Vh je dubina zareza, koja označava vertikalnu udaljenost od ruba silikonske pločice do dna žlijeba. Obično se kreće od 1.0 do 1,25 mm. Vh je ključan za osiguranje tačnosti poravnanja zareza.
3. AngV, odnosno ugao zareza. AngV je ugao zareza, koji je ugao između ivica utora sa obe strane. Obično je između 89 stepeni i 95 stepeni. Ovaj ugao igra odlučujuću ulogu u geometriji i pozicioniranju zareza.
4. R1 i R2 predstavljaju poluprečnike uglova sa obe strane zareza. Ova dva radijusa određuju glatkoću uglova žljebova, utiču na koncentraciju naprezanja ureza i utiču na mehanička svojstva silikonske pločice.
5. Vr je polumjer zakrivljenosti na dnu zareza, što ukazuje na veličinu luka na dnu utora. Vr može promijeniti oblik krivulje i glatkoću zareza. Veći Vr može učiniti dno zareza ravnijim, što pomaže u smanjenju koncentracije naprezanja.
6. Orijentacija zareza: Smjer utora je paralelan sa specifičnom orijentacijom kristala pločice, a odstupanje od ±2 stepena je dozvoljeno.
