Kritična faza u proizvodnji poluprovodnika je stanjivanje pločice. To podrazumijeva stanjivanje oblatne na odgovarajuću debljinu bez nanošenja štete njenim najtanjim dijelovima. Razrjeđivanje vafla može se obaviti na više načina, od kojih svaki ima svoje prednosti i nedostatke. U ovom članku ćemo prikazati nekoliko najpopularnijih tehnika stanjivanja vafla.
1, brušenje mašinom:Najčešće korištena tehnika za stanjivanje vafla je ova. Da bi se oblanda istanjila, koristi se točak za mlevenje. Ovo je jednostavna i efikasna tehnika koja proizvodi ravnost i odličnu preciznost. S druge strane, to može rezultirati značajnom proizvodnjom otpada i oštećenjem površine pločice.
2, Kemijsko mehaničko poliranje (CMP): Ova tehnika razrjeđuje pločicu kombinacijom kemijskih i mehaničkih postupaka. Podrazumijeva poliranje vafla korištenjem suspenzije napravljene od kemikalije koja reagira s površinom i abrazivnim česticama. Ova tehnika postiže visok stepen preciznosti i stvara veoma glatku površinu. Međutim, za to je potrebna skupa oprema i može biti dugotrajno.
3, plazma graviranje:Ova tehnika smanjuje debljinu vafla urezivanjem nepoželjnog materijala pomoću plazme. Ova tehnika može pružiti vrlo glatku površinu i prilično je precizna. Osim toga, budući da proizvodi manje otpada od mehaničkog mljevenja, ekološki je benigan. Međutim, to može biti skupo i zahtijeva posebnu opremu.
4, laserska ablacija:Ova tehnika razrjeđuje pločicu i isparava nepoželjni materijal pomoću snažnog lasera. To je izuzetno precizan proces koji može proizvesti glatku površinu sa visokim stepenom preciznosti. Kako bi se izbjeglo oštećenje komponenti napolitanke, to je skupo i potrebno ga je pažljivo nadzirati.
Stanjivanje vafla je važna faza u proizvodnji poluprovodnika i postoji nekoliko tehnika za to. Svaki pristup ima prednosti i nedostatke, stoga najbolju opciju treba odrediti prema posebnim potrebama proizvodnog procesa. Ove tehnike će napredovati daljim istraživanjem i razvojem, što će omogućiti proizvodnju još moćnijih i sofisticiranijih poluvodičkih uređaja.