Gdje se koriste silikonski jastučići za poliranje?

Polirane oblatne su najčešće korišteni proizvod, a ostali proizvodi od silicijumskih vafla proizvode se sekundarnom obradom na bazi poliranih oblatni.
Polirane oblatne su najosnovnije i najčešće korištene silikonske pločice. Polirane pločice mogu se direktno koristiti za izradu poluvodičkih uređaja, široko korištenih u memorijskim čipovima i energetskim uređajima, a mogu se koristiti i kao materijali za podlogu za epitaksijalne pločice, SOI silikonske pločice i druge vrste silikonskih pločica.
Uz kontinuirano smanjenje karakteristične širine linije integriranih kola i sve finiju preciznost litografije, izuzetno male neravnine na silikonskoj pločici će uzrokovati deformaciju i dislokaciju grafike integriranog kola. Tehnologija proizvodnje silikonskih pločica suočava se sa sve većim zahtjevima i izazovima. Veličina čestica površine čipa i čistoća također imaju direktan utjecaj na prinos poluvodičkih proizvoda.
Stoga je proces poliranja vrlo važan za poboljšanje ravnosti i čistoće površine silikonske pločice. Glavni princip je postići planarizaciju površine poluvodičke silikonske pločice i smanjiti hrapavost uklanjanjem zaostalog sloja oštećenja na obrađenoj površini.